尾气吸收净化工艺装置

                                      某多晶硅尾气吸收净化项目

多晶及单晶硅生产系统中排出的NO_x、HF、HCl、烧碱雾及其他惰性气体，气体成分复杂、强腐蚀性，有毒气体，对大气排放有严格标准，这些尾气污染物，不能直接排放到大气中，会对人类和环境造成很大的污染。

尾气处理的风量数据：设计风量：30000m³/h设计风量：按120%余量进行设计：客户实际最大风量25000m³/h（分布：硅料清洗6000m³/h×3，硅芯,酸洗7000m³/h，硅料CDS供液系统1500m³/h，硅芯CDS供液系统1500m³/h），

针对本项目尾气特点采用针对性药剂吸收剂、碱液洗涤、吸附填料洗涤吸附等综合性工艺方案。

达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)二级排放标准：

NOX<240mg/m3   氟化物<9 mg/m3

安装方式：室内组装，排气筒高度符合标准。