尾氣吸收凈化工藝裝置

                                      某多晶硅尾氣吸收凈化項目

多晶及單晶硅生產系統(tǒng)中排出的NO_x、HF、HCl、燒堿霧及其他惰性氣體，氣體成分復雜、強腐蝕性，有毒氣體，對大氣排放有嚴格標準，這些尾氣污染物，不能直接排放到大氣中，會對人類和環(huán)境造成很大的污染。

尾氣處理的風量數(shù)據(jù)：設計風量：30000m³/h設計風量：按120%余量進行設計：客戶實際最大風量25000m³/h（分布：硅料清洗6000m³/h×3，硅芯,酸洗7000m³/h，硅料CDS供液系統(tǒng)1500m³/h，硅芯CDS供液系統(tǒng)1500m³/h），

針對本項目尾氣特點采用針對性藥劑吸收劑、堿液洗滌、吸附填料洗滌吸附等綜合性工藝方案。

達到《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)二級排放標準：

NOX<240mg/m3   氟化物<9 mg/m3

安裝方式：室內組裝，排氣筒高度符合標準。