多晶硅單晶硅尾氣處理工藝

基于當前多晶及單晶硅生產系統(tǒng)中排出的NO_x、HF、HCl、燒堿霧及其他惰性氣體，氣體成分復雜、強腐蝕性，有毒氣體，對大氣的污染嚴重。該系統(tǒng)尾氣組分復雜，且尾氣的排放狀態(tài)不穩(wěn)定性、爆發(fā)性、突發(fā)性、強腐蝕性、尾氣的濃度變化大、連續(xù)性操作。目前市場上通常采用工藝裝置及方法，都比較單一，無法達到處理的目的；純凈水吸收工藝方法，采用純凈水進行洗滌吸收，能吸收部分氟化氫、氯化氫、但氮氧化物、燒堿物無法去除，吸附工藝，采用活性碳及吸附劑進行吸附處理，吸收一些氟化氫、氯化氫、燒堿物，氮氧化物和惰性氣體不能去除。要解決此工藝尾氣必須采用綜合的工藝手段，做到尾氣吸收、氮氧化物及其他氣體完全去除的目的。