工業硅及氟硅生產過程中排出大量的NOx、HF、HCl、燒堿霧及其他惰性氣體,氣體成分復雜、強腐蝕性,有毒氣體,對大氣的污染嚴重。目前市場上通常采用工藝裝置及方法,都比較單一,無法達到各種尾氣的處理的排放要求。該技術特點采用三級處理的吸收和吸附的裝置和工藝,針對多晶及單晶硅生產系統排出尾氣采用針對的藥劑吸收、堿液洗滌、填料吸附等綜合性工藝裝置及工藝,才能達到尾氣處理的排放標準。
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